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晶体管寿命的重要作用,但以栅极宽度为代表的关键尺寸的不断减小所

ETSOI(FD-ETSOI)技术正如我们上文所介绍的那样,虽然立体型晶体管结构具有很多优点,但其制造工艺的复杂性则会令不少厂商望而却步,如果能继续延续平面型工艺的寿命,那么无论在风险还是成本方面的担忧都会大大减小。这便是IBM公司推出全耗尽型超薄SOI(FDETSOI)的目的所在。IBM 公司2009年12月份曾经展示了一种基于ETSOI(Extremely Thin SOI:超薄SOI)的22nm制程FD-ETSOI工艺,并在IEDM2009会议上展示了22nm FDETSOI晶体管制造流程图(图11
 
ETSOI(FD-ETSOI)技术正如我们上文所介绍的那样,虽然立体型晶体管结构具有很多优点,但其制造工艺的复杂性则会令不少厂商望而却步,如果能继续延续平面型工艺的寿命,那么无论在风险还是成本方面的担忧都会大大减小。这便是IBM公司推出全耗尽型超薄SOI(FDETSOI)的目的所在。IBM 公司2009年12月份曾经展示了一种基于ETSOI(Extremely Thin SOI:超薄SOI)的22nm制程FD-ETSOI工艺,并在IEDM2009会议上展示了22nm FDETSOI晶体管制造流程图(图11 | 宽500x322高 | 显示比例:100% | 查看原图 | 图片来源:www.bbs.cniti.com
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