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电路 电路图 电子 原理图 462_251

  诊断实验在Bulat6型电弧离子镀沉积系统上进行。如图2所示,沉积室为直径500mm ,高500mm平放的圆柱型腔体,两个对向分布的Ti 靶位于腔体两端,置于旋转轴之上可水平旋转的基片台位于腔体的底部中央 。Bulat6 型电弧离子镀的基本过程为,首先通过真空系统获得真空,而后通入工作气体(惰性气体氩或其他反应气体) 并维持一定的真空度,再通过引弧系统点燃弧靶电弧获得金属的等离子体,该等离子体产生于靶材端面,但在靶端附近的线圈磁场的作用下,被定向聚焦并滤去一部分大颗粒后被连续传输到沉积室中,这部分的等
 
  诊断实验在Bulat6型电弧离子镀沉积系统上进行。如图2所示,沉积室为直径500mm ,高500mm平放的圆柱型腔体,两个对向分布的Ti 靶位于腔体两端,置于旋转轴之上可水平旋转的基片台位于腔体的底部中央 。Bulat6 型电弧离子镀的基本过程为,首先通过真空系统获得真空,而后通入工作气体(惰性气体氩或其他反应气体) 并维持一定的真空度,再通过引弧系统点燃弧靶电弧获得金属的等离子体,该等离子体产生于靶材端面,但在靶端附近的线圈磁场的作用下,被定向聚焦并滤去一部分大颗粒后被连续传输到沉积室中,这部分的等 | 宽462x251高 | 显示比例:100% | 查看原图 | 图片来源:www.chvacuum.com
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